W/SiC纳米多层膜的制备及表征

摘要

采用多靶磁控溅射制备了 Ｗ／ＳｉＣ纳米多层膜。并用 ＸＲＤ和 ＴＥＭ研究了 Ｗ／ＳｉＣ纳米多层膜的微结构。研究表明，Ｗ／ＳｉＣ纳米多层膜的调制结构界面平直、清晰、周期性好；ＳｉＣ调制层为非晶态，Ｗ调制层在大调制周期为纳米晶，并随调制周期减小逐渐转变为非晶态。