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张朋; 闫美存; 杨小萌; 邵淑伟;
中国电子技术标准化研究院 北京100007;
中国电子科技集团公司第十二研究所 北京100015;
高可靠行波管; 工艺过程控制; 标准;
机译:SEMI E133 —过程控制系统标准:推导用于半导体制造中高级过程控制的软件互操作性标准
机译:操作准确性提高,过程控制改进以提高可靠性
机译:过程控制系统的面向方面的自动化分解,可确保超高可靠性
机译:低于45nm技术节点的高可靠SiOCH低k电介质关键工艺步骤
机译:卫星通信用行波管的高性能,长寿命和高可靠性研究
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机译:过程控制接口单元-允许连接标准计算机以控制各种过程控制回路
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