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基于ANSYS的内置加热子的陶瓷加热器温度场分析

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摘要

利用有限元分析软件ANSYS对陶瓷加热器的瞬态温度场进行了仿真分析,得到了氮化铝和氧化铝两种陶瓷基体中两种不同加热膜图形瞬时的温度场分布情况.同时对氧化铝基陶瓷加热器的实验结果和模拟计算结果进行了比较分析,计算结果能够反映真实加热器工作过程,可以为陶瓷加热器的加热膜图形设计提供有效依据.

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来源
《真空电子技术》 |2018年第5期|41-44|共4页
作者
杜斌; 鲁燕萍; 任含玉;
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作者单位

北京真空电子技术研究所;

北京100015;

北京真空电子技术研究所;

北京100015;

北京真空电子技术研究所;

北京100015;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类设计和计算;
关键词
陶瓷加热器; 有限元法; 温度场;

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