石英晶振真空传感器及真空计的研制

摘要

本文研究了音叉型石英晶体谐振器的谐振阻抗与周围气压的关系，设计了一种全新的自隐幅自跟踪晶体振荡电路和精密动态阻抗测试电路，以测量石英晶振的谐振阻抗。实验测得，当晶振周围气体压强１０＾－２Ｐａ上升到大气压时其谐振阻抗相对变化也几乎以相同数量级单调增加，阻抗随气压变化关系与理论分析和国外文献报道一致。利用石英晶振的气压敏感性，本文研制了一种新型的石英晶体真空计，量程从０．１Ｐａ到２×１０＾５Ｐａ，全量