用于有源矩阵液晶显示的Ta-Ta2O5-Ta MIM薄膜二极管

摘要

本文介绍了一种用于有源矩阵液晶显示、具有对称结构的ＭＩＭ薄膜二极管，其中Ｔａ２Ｏ５膜采用溅射／阳极氧化两步法制成。实验结果表明，用此法制备的氧化钽膜作绝缘层的ＭＩＭ二极管，具有良好的开关特性。