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氧化铝陶瓷金属化技术的研究进展

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摘要

综述了Al2O3陶瓷金属化技术的国内外研究现状与进展,简要介绍了目前主要应用的几种金属化方法,并着重分析了真空溅射镀膜金属化技术中薄膜材料、膜层厚度以及工艺参数对金属化质量的影响.

著录项

来源
《真空电子技术》 |2007年第5期|41-4347|共4页
作者
马元远; 王德苗; 任高潮;
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作者单位

浙江大学,信电系,浙江,杭州,310027;

浙江大学,信电系,浙江,杭州,310027;

浙江大学,信电系,浙江,杭州,310027;

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正文语种 chi
中图分类真空设备的制造工艺;
关键词
Al2O3陶瓷; 金属化; 真空溅射;

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