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钍钨阴极碳化工艺的研究与应用

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介绍一种微波炉用连续波磁控管钍钨阴极的碳化工艺过程及碳化的方法,利用新的碳化工艺方法来控制碳化层厚度,选择合适的碳化层厚度,得到了长寿命高可靠的阴极.

著录项

来源
《真空电子技术》 |2008年第2期|44-46|共3页
作者
陈正富;
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作者单位

国营778厂,甘肃,平凉,744000;

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正文语种 chi
中图分类磁控管;
关键词
碳化工艺过程; 碳化层厚度;

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