数字PID控制技术在多功能真空离子镀膜设备中的应用

摘要

介绍了数字PID(比例-积分-微分)控制算法在多功能真空离子镀膜设备中的应用,并利用三菱Q系列PLC(可编程逻辑控制器)丰富的结构化编程功能和数字PID控制算法的运用,实现对5路气体的输出控制;在本应用中,根据工艺参数表的设定,PLC实时计算出所需气体的输出量并控制其输出,实现自动调节工艺气体的进气量,以达到稳定镀膜室气体压力的目的,保证气体放电条件,提高镀膜层质量.