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全固态气体传感器的研究进展

         
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摘要

本文介绍全固态气体传感器的研究进展,包括半导体氧化物传感器,固体电解质传感器、催化燃烧式传感器以及基于其他原理的气体传感器.

著录项

  • 来源
    《真空电子技术》 |2013年第2期|1-8|共8页
  • 作者

    卢革宇; 刘凤敏; 孙彦峰; 梁喜双; 高原; 孙鹏; 全宝富;

  • 作者单位

    集成光电子国家重点实验室吉林大学实验区吉林大学电子科学与工程学院,吉林长春130012;

    集成光电子国家重点实验室吉林大学实验区吉林大学电子科学与工程学院,吉林长春130012;

    集成光电子国家重点实验室吉林大学实验区吉林大学电子科学与工程学院,吉林长春130012;

    集成光电子国家重点实验室吉林大学实验区吉林大学电子科学与工程学院,吉林长春130012;

    集成光电子国家重点实验室吉林大学实验区吉林大学电子科学与工程学院,吉林长春130012;

    集成光电子国家重点实验室吉林大学实验区吉林大学电子科学与工程学院,吉林长春130012;

    集成光电子国家重点实验室吉林大学实验区吉林大学电子科学与工程学院,吉林长春130012;

  • 原文格式 PDF
  • 正文语种 chi
  • 中图分类 TP212;
  • 关键词

    全固态气体传感器; 半导体氧化物传感器; 固态电解质传感器; 催化剂燃烧式传感器;

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