大型高真空退火炉的热设计

摘要

介绍了大型高真空退火炉的热设计，用表面负荷法、容积负荷法、热平衡法退火炉所需的加热功率进行了估算，采用对工作区域全方位加热的方法，提高了工作区域温度物稳定性，与加热体周向布局相比，大降低了炉体的高度。炉体材料用不锈钢，加热体材料用钼丝，３ｈ内，用１８０ＫＷ加热功率将直径１．６ｍ、高１．７ｍ的的工作区域加热到８００℃，炉温稳定后测得工作区域内的最大温差为定点生优于±３℃。