Pt/PtRh薄膜热电偶的动态性能研究

摘要

鉴于航空发动机部件温度高、温度变化快的特性,本文采用微机电系统(MEMS)工艺制备高温Pt-PtRh薄膜热电偶,分别搭建薄膜热电偶的静态标定和动态响应测试平台,对薄膜热电偶的热电输出特性进行了标定,结果表明:Pt-PtRh薄膜热电偶与标准丝状同材质热电偶的输出特性基本一致,平均塞贝克系数为13.8 μV/K,动态测试的整体响应时间在25 ～40μs范围内,具有很快的响应速度.