新型MEMS冲击加速度计研究

摘要

研究了一种新型微机电系统(MEMS)加速度计,利用双面四端固支的三维对称结构从根本上消除了横向干扰.基于工程力学原理建立了双面四端固支结构的解析模型,分析了该结构的灵敏度、频率响应、横向灵敏度等主要性能.通过有限元仿真,优化了敏感结构的尺寸.该敏感结构设计量程20×104gn,灵敏度大于0.8 μV/gn/10VDC,横向灵敏度比小于1％,谐振频率大于613 kHz,满足工程应用要求.提出了基于体硅MEMS技术的制作工艺方案.