自检式石英振梁加速度计的极板间距研究

摘要

极板间距与自检式石英振梁加速度计的自检性能密切相关.过大的极板间距影响器件的工程化,过小的极板间距无法满足器件工作位移,因此极板间距是设计自检式石英振梁加速度计的关键.针对该问题,建立了理想静电驱动模型与吸合模型.通过理论分析和仿真优化,获取临界吸合电压函数.同时,研究了电压对两种模型加速度的影响,并对两者误差进行分析.最终得出极板间距与所能模拟加速度最大值呈现线性关系.提出了极板间距设定流程,并证明极板间距为19μm时,自检式石英振梁加速度计自检性能最佳.