基于石墨烯的集成化气体传感单元设计

摘要

针对目前气体传感器敏感对象单一化的问题,利用新型二维纳米薄膜材料石墨烯,设计了一种集成化的多功能气敏传感单元,提出了一整套制造石墨烯气敏传感单元的工艺方案.敏感单元分为4个模块,利用同一片经过不同处理的石墨烯薄膜实现对三种不同气体的检测.NH3检测模块核心敏感薄膜为氧化石墨烯,H2检测模块核心敏感薄膜为钯掺杂石墨烯薄膜,NO2检测模块核心敏感薄膜为氧化锌(ZnO)掺杂石墨烯薄膜.基于微机电系统(MEMS)工艺和石墨烯薄膜转移工艺可将上述3个气敏模块集成于一块芯片,实现一种新型集成化石墨烯气敏传感单元.