GaN基倒装LED与光栅的集成器件的仿真分析

摘要

在发光二极管(LED)上制作光子光栅结构将会提高LED的光提取效率,这使得LED应用范围更广.根据时域有限差分法(FDTD)数值计算方法,利用Rsoft软件仿真设计了氮化镓(GaN)基倒装LED和光栅的集成器件.主要改变光栅的高度、宽度,得到Λ=0.6μm,w=0.3μm,h=0.3μm时,最大的出光效率89％.通过远场图分析了光束的准直性以及通过改变探测器偏转角度得到光提取效率的变化情况.