航空发动机用薄膜热电偶研制

摘要

针对航空发动机涡轮叶片表面温度测试的迫切需求,采用薄膜沉积工艺,能够在Ni基高温合金表面制备热电性能较好的中温K型(NiCr/NiSi,1200℃)等薄膜热电偶.薄膜热电偶由NiCrAlY过渡层、热生长Al2 O3层、Al2 O3绝缘层、功能层和Al2 O3保护层构成.通过静态标定结果分析,其塞贝克系数分别达到38.26,10.60,78.60,123.10μV/℃,在恶劣环境下具有良好的稳定性和一致性,使用寿命均大于10 h.