陶瓷压阻式压力传感器的研制

摘要

介绍了一种采用陶瓷基座、陶瓷膜片制备的压力传感器。它以陶瓷膜片为受载弹性体，利用厚膜电阻的压阻效应，以厚膜工艺技术制得性能优良，价格低廉的陶瓷压阻式压力传感器。使压力传感器的应用范围进一步拓宽。