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压阻式压力传感器的动态特性

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摘要

综合分析了敏感元件构形与尺寸及传感器的封装结构对动态压力测量的影响 .给出了几种CYG压阻式压力传感器在动态压力测量时的频响特性的理论计算值与实验值.

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来源
《传感器与微系统》 |1999年第3期|52-53|共2页
作者
戴艳梅; 王文襄;
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作者单位

河北省技术监督局,石家庄,050051;

宝鸡传感器研究所;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类自动化技术及设备;
关键词
压阻; 平膜片; 压力传感器; 固有频率;

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