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纳米技术在半导体陶瓷气体传感器中的应用

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摘要

纳米技术可获得高活性的气敏陶瓷材料,利用纳米技术的二大效应即表面效应和量子尺寸效应,可使气体传感器的灵敏度和选择性提高,着重地介绍气敏材料纳米化的机理基础,制备方法及工艺控制.

著录项

来源
《传感器与微系统》 |2000年第6期|1-3,6|共4页
作者
施云波; 陈耐生;
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作者单位

信息产业部电子第四十九研究所,黑龙江,哈尔滨,150001;

福州大学,化学系,福建,福州,350002;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类 TN304.92;
关键词
纳米技术; 纳米效应; 制备方法; 气敏材料;

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