首页> 中文期刊> 《传感器与微系统》 >微加速度传感器硅微结构设计

微加速度传感器硅微结构设计

开具论文收录证明 >>

期刊封面封底目录下载 >>

文献代查 >>

页面导航

摘要
著录项
相似文献
相关主题

摘要

围绕加速度信息,探讨微机电加速度传感器的设计和分析,提出了微机电传感系统硅微结构设计的原则,并根据典型的弹性质量系统,建立了其过载变形的模型,给出了用于计算位移加速度关系系数的方法.

著录项

来源
《传感器与微系统》 |2000年第2期|23-25|共3页
作者
金磊; 高世桥; 李文杰;
展开▼
作者单位

北京理工大学,机电工程系,北京,100081;

北京理工大学,机电工程系,北京,100081;

北京理工大学,机电工程系,北京,100081;

展开▼
原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类工程动力学;
关键词
微机电系统; 微加速度传感器; 硅微结构; 动力分析;

相似文献

中文文献
外文文献
专利

1. 硅微振梁式加速度传感器中微杠杆结构的设计 [J] . 裘安萍 ,苏岩 ,施芹 . 传感技术学报 . 2006,第005期
2. 硅微振梁式加速度传感器中微杠杆结构的设计 [J] . 裘安萍 ,苏岩 ,施芹 . 传感技术学报 . 2006,第05B期
3. 叉指电容式汽车安全气囊硅微加速度传感器的设计和分析 [J] . 南昊 ,田露 . 今日科苑 . 2010,第020期
4. 基于MEMS的硅微压阻式加速度传感器的设计 [J] . 张建碧 . 电子科技 . 2009,第010期
5. 基于MEMS的硅微压阻式加速度传感器设计 [J] . 张建碧 . 电子与封装 . 2009,第010期
6. 硅微振梁式加速度传感器中微杠杆结构的设计 [C] . 裘安萍 ,苏岩 ,施芹 . 第八届中国微米/纳米技术学术年会 . 2006
7. 微硅电容加速度传感器单片测试电路中弛张振荡器的设计 [A] . 黄海 . 2006

获取原文

客服邮箱：kefu@zhangqiaokeyan.com

京公网安备：11010802029741号 ICP备案号：京ICP备15016152号-6 六维联合信息科技 (北京) 有限公司©版权所有

客服微信
服务号