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位置敏感探测器在转角测量中的应用

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摘要

简要介绍了位置敏感检测器(PSD)的基本原理和特点,以二维PSD为核心器件,设计制作了单镜二维激光扫描器转角测量系统.采用光学滤波和PSD后续信号处理电路相结合的方式,有效地消除了杂散光和暗电流的影响.对PSD作了位移标定,该系统可实现30°二维转角测量,分辨力为30″.

著录项

来源
《传感器与微系统》 |2002年第10期|40-42|共3页
作者
程继伟; 巩马理; 贾维溥; 刘兴占; 闫平; 张海涛;
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作者单位

清华大学,精密仪器系,北京,100084;

清华大学,精密仪器系,北京,100084;

清华大学,精密仪器系,北京,100084;

清华大学,精密仪器系,北京,100084;

清华大学,精密仪器系,北京,100084;

清华大学,精密仪器系,北京,100084;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类测试、调整及其设备;
关键词
位置敏感探测器; 激光扫描器; 转角测量;

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