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先进的集成微型传感器的研究进展

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通过集成微型声传感器、集成微型振动传感器、集成微型传感器组和无线集成微型传感器的结构特点、性能以及研制情况,介绍目前先进的集成微型传感器的研究进展状况.

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来源
《传感器与微系统》 |2002年第10期|1-3|共3页
作者
侯美丽; 王晓娟; 刘永寿;
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作者单位

西北工业大学,工程力学系,陕西,西安,710072;

西北工业大学,工程力学系,陕西,西安,710072;

西北工业大学,工程力学系,陕西,西安,710072;

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正文语种 chi
中图分类 TP212;
关键词
集成 ; 微型 ; 传感器; 研究;

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