首页> 中文期刊> 《传感器与微系统》 >高精度扩散硅绝对压力计的研制

高精度扩散硅绝对压力计的研制

AI论文写作 >>

开具论文收录证明 >>

页面导航

摘要
著录项
引文网络
相似文献
相关主题

摘要

采用扩散硅绝对压力传感器为检测部件,研制出高精度绝对压力计,重点介绍绝对压力计的工作原理及为提高仪表精确度所进行的温度补偿.

著录项

来源
《传感器与微系统》 |2002年第6期|25-27|共3页
作者
张秀珍; 孙正鼐; 马秀娟;
展开▼
作者单位

哈尔滨工业大学,威海分校,信息与控制工程系,山东,威海,264209;

哈尔滨工业大学,威海分校,信息与控制工程系,山东,威海,264209;

哈尔滨工业大学,威海分校,信息与控制工程系,山东,威海,264209;

展开▼
原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类压力仪表;
关键词
绝对压力计; 高精度; 温度补偿;

相似文献

中文文献
外文文献
专利

1. 扩散硅精密数字压力计 [J] . 张秀珍 ,杨魁 . 计量技术 . 1995,第009期
2. 高精度井下存储式电子压力计的研制 [J] . 阿孜古丽.牙生 ,张春秋 ,谈建平 . 石油化工自动化 . 2018,第5期
3. 高精度数字压力计的研制 [J] . 谢森 ,莫宇斌 . 上海大学学报（自然科学版） . 1996,第001期
4. 扩散硅绝对压力传感器的补偿方法研究 [J] . 张秀珍 ,马秀娟 ,戴伏生 . 计量与测试技术 . 2001,第001期
5. 扩散硅压力传感器的高精度误差补偿算法 [J] . 朱龙俊 . 自动化与仪表 . 2012,第003期
6. 扩散硅压力传感器在压力计量中的应用 [C] . 上官锋 . 第二届全国敏感元件传感器学术会议 . 1991
7. 高精度激光干涉绝对重力梯度仪研制 [A] . 张兵 . 2019

获取原文

客服邮箱：kefu@zhangqiaokeyan.com

京公网安备：11010802029741号 ICP备案号：京ICP备15016152号-6 六维联合信息科技 (北京) 有限公司©版权所有

客服微信
服务号