热电薄膜型气体流量传感器的热模拟分析

摘要

利用有限元分析工具ANSYS/FLOTRAN, 模拟并分析了一个基于薄膜结构的热电型气体流量传感器的温度场.并具体地分析了在气体流量通道入口处气体的流向角度对传感器输出信号以及气体流动状态的影响.将最终的模拟计算结果与实验数据进行比较,发现二者基本吻合.利用此热学模型来模拟和分析此类传感器,不但可以减少大量的模拟分析过程而且可以降低计算的复杂度,另外也为此类传感器的设计和验证提供了一个非常简单而有效的方法和依据.