用于电容式传感器的差动线性电路

摘要

提出了一种差动电容式传感器的前置电路,基于电容/电压转换的原理,对微小电容变化量进行测量.电路输出的直流电压与差动电容变化量成线性关系,且能对偏差电容和电路的漂移进行自动补偿.实验表明,被测电容分辨力为8?fF, 灵敏度可达3.82×1011?V/F.实验结果和理论分析具有良好的一致性.