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隧道式硅微加速度计的设计和制作

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摘要

针对隧道效应对位移具有极高灵敏度的特点,设计了一种隧道式硅微加速度计.在介绍其结构和工作原理的基础上,提出了一种新的加工工艺,由该工艺制作的第一批器件成功地观测到隧道效应.

著录项

来源
《传感器与微系统》 |2003年第12期|25-28|共4页
作者
贺玲; 薛大同; 雷军刚; 郝一龙; 董海峰;
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作者单位

中国空间技术研究院,兰州物理研究所,甘肃,兰州,730000;

中国空间技术研究院,兰州物理研究所,甘肃,兰州,730000;

中国空间技术研究院,兰州物理研究所,甘肃,兰州,730000;

北京大学,微电子学研究所,北京,100871;

北京大学,微电子学研究所,北京,100871;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类 TH824+.4;
关键词
隧道效应; 微加速度计; 加工工艺;

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