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微电机粗糙表面粘附仿真分析

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摘要

针对粘附现象严重影响微电机性能的问题,建立了微电机粗糙表面 "截球型"粘附物理模型;根据Hamaker微观连续介质修正理论,推导出微电机粘附力数学模型,仿真出相当表面光洁度等级分别为10级、11级和12级的微电机粘附力数值结果,从而为微电机的结构设计提供了理论依据.

著录项

来源
《传感器与微系统》 |2004年第10期|33-34,40|共3页
作者
田文超; 贾建援;
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作者单位

西安电子科技大学,机电工程学院,陕西,西安,710071;

西安电子科技大学,机电工程学院,陕西,西安,710071;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类 TP212;
关键词
微电机; 粗糙表面; 粘附力; 微观连续介质修正理论;

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