扭转臂杠杆式MEMS膜开关的分析

谢兴军; 单红; 苏伟

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扭转臂杠杆式MEMS膜开关的分析

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为解决现有的MEMS微波开关的激励电压太高、微连接和膜开关的击穿电压等问题,提出了一种独特结构的MEMS微波开关-扭转臂杠杆式膜开关,并对其进行了理论分析,用conventor ware和ADS(advanced design system)软件进行了仿真.由于利用了膜结构以及扭转臂和杠杆的原理,这种独特的MEMS微波开关激励电压比较低、隔离度较高、插入损耗比较低、稳定性好.

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来源
《传感器与微系统》 |2004年第7期|71-73|共3页
作者
谢兴军; 单红; 苏伟;
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作者单位

重庆大学,通信工程学院,重庆,400044;

中国工程物理研究院,电子工程研究所,四川,绵阳,621900;

中国工程物理研究院,电子工程研究所,四川,绵阳,621900;

中国工程物理研究院,电子工程研究所,四川,绵阳,621900;

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正文语种 chi
中图分类微波元件、微波铁氧体元件;
关键词
MEMS 膜; 隔离度; 插入损耗; 共面波导;

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