CMOS电容式湿度传感器的测量电路分析与仿真

摘要

对与CMOS工艺兼容的电容式湿度传感器的测量电路进行了分析和仿真,为后期的湿度传感器流片成功提供了有效的保证.该湿度传感器系采用梳状铝电极结构,聚酰亚胺作为感湿介质.比较不同的测量方法,得出最优的测量电路.对测量电路进行理论推导后,对其进行模拟,得出了输出电压与相对湿度的关系图.最后,对该湿度传感器进行版图设计,并分析其后加工工艺.