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压阻式微机械陀螺接口电路的数学原理

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压阻式微机械陀螺是MEMS研究的重要方向之一,有效的接口电路是发挥陀螺性能的重要保证.用数学方法完整地推导了陀螺驱动和信号检测的内在机理,并据此设计了一种简单的压阻式陀螺接口电路.接口电路的最小分辨力为0.33°/s.测量结果证明了数学推导的正确性.

著录项

来源
《传感器与微系统》 |2005年第8期|8-10|共3页
作者
陈雪萌; 李昕欣; 王跃林; 焦继伟; 杨恒; 刘民;
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作者单位

中国科学院,上海微系统与信息技术研究所,传感技术国家重点实验室,上海,200050;

中国科学院,上海微系统与信息技术研究所,传感技术国家重点实验室,上海,200050;

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中国科学院,上海微系统与信息技术研究所,传感技术国家重点实验室,上海,200050;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类 TP212.1;
关键词
微机械陀螺; 压阻; 接口电路; 数学推导;

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