CMOS风速风向传感器的设计

摘要

介绍了一种CMOS(互补MOS)集成风速风向传感器,使用恒温差(CTD)控制模式将芯片加热,使其中间加热区域的温度高于周围环境(风)温度一定值.该传感器在有风吹过它的表面时能同时测量风速和风向.采用4个串联的热堆测量芯片中心区域的平均温度,这种测温的方法简单、新颖.在简单阐述CMOS硅热流量传感器的工作原理和结构之后,主要介绍驱动和信号读取电路.经过风洞测试,传感器能够测量风速0～23m/s,具有良好的线性度和灵敏度,同时,传感器360°内方向敏感.