直流偏置对PZT微传感器的谐振频率的影响

王军军; 周嘉; 黄宜平

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直流偏置对PZT微传感器的谐振频率的影响

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在直流偏置电压对PZT压电微悬臂梁谐振频率的影响研究中,建立了理论方程,并通过激光干涉测试实验对所建方程进行了验证.理论方程和实验均表明:直流偏置电压对PZT微悬臂梁的谐振基频的影响是二阶函数.在直流偏置电场小于1×107 V/m时,直流偏置电压和谐振基频存在线性变化区.此结论可以用于改善谐振式PZT微悬臂梁传感器的信号检测系统,即利用扫描直流偏置电压取代频谱分析.

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来源
《传感器与微系统》 |2005年第4期|26-28|共3页
作者
王军军; 周嘉; 黄宜平;
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作者单位

复旦大学,微电子系专用集成电路与系统国家重点实验室,上海,200433;

复旦大学,微电子系专用集成电路与系统国家重点实验室,上海,200433;

复旦大学,微电子系专用集成电路与系统国家重点实验室,上海,200433;

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正文语种 chi
中图分类 TP212;
关键词
直流偏置电压; 锆钛酸铋; 谐振频率;

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