MEMS壁剪应力传感器热效应的数值模拟

摘要

借助计算流体动力学(CFD)商业软件FLUENT,采用数值模拟的方法,对基于MEMS的壁剪应力传感器热交换效应进行了分析.计算结果表明:在壁剪应力传感器的热膜下方加入真空腔或者空气腔是十分必要的.针对水流中测量的计算结果显示,真空腔和空气腔在整个计算区域的温度场分布以及对流体的传热效率的差别不大,而空腔可以明显地减小底层的热损失,这对提高剪应力传感器的灵敏度是十分有利的.此外,MEMS壁剪应力传感器的尺寸效应对传热效率也存在影响.