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微加速度计粘附问题的研究及应用

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摘要

粘附是影响微机电系统(MEMS)可靠性的重要因素之一.针对MEMS的典型产品- -微加速度计的粘附问题进行了研究,给出了2种典型的微加速度计的表征粘附特性的剥离数的表达式,并分析了将粘附条件应用于微加速度计的多学科设计优化之中,分析了其对系统结构设计产生的影响.

著录项

来源
《传感器与微系统》 |2006年第6期|43-45,48|共4页
作者
俞必强; 翁海珊; 李疆;
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作者单位

北京科技大学,机械工程学院,北京,100083;

北京科技大学,机械工程学院,北京,100083;

北京科技大学,机械工程学院,北京,100083;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类机械设计;
关键词
粘附; 剥离数; 微加速度计;

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