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基于双晶片压电传感器特性分析

     

摘要

用模态分析法分析双晶片压电力、振动、位移传感器的位移特性及灵敏度特性,并给出灵敏度与压电材料参数及晶片几何尺寸的关系.其仿真分析结果对压电双晶片用于力、振动、位移等传感器的设计具有重要意义.

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