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半导体温度传感器研究进展综述

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摘要

半导体温度传感器体积小、功耗低,且能与其他外围控制电路集成在同一芯片上,其应用领域广阔.评述了各种半导体温度传感器的基本实现方式、发展现状,总结了现有各种设计方法中的关键技术及其存在的问题和改进方向.

著录项

来源
《传感器与微系统》 |2006年第3期|1-3|共3页
作者
张洵; 靳东明; 刘理天;
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作者单位

清华大学,微电子所,北京,100084;

清华大学,微电子所,北京,100084;

清华大学,微电子所,北京,100084;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类微电子学、集成电路（IC）;
关键词
温度传感器; 热测试; 集成电路;

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