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磁悬浮转子微陀螺旋转驱动电路设计

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摘要

介绍了基于MEMS技术的磁悬浮转子微陀螺的基本原理,重点对旋转的原理进行讨论,给出相应实现方案的指标分析和系统设计,并进行了实验.经过驱动后,微陀螺可以得到3 000 r/min的旋转效果,并对旋转的转速和力矩进行了分析.

著录项

来源
《传感器与微系统》|2006年第2期|83-85|共3页
作者
邵诗逸; 黄晓刚; 刘武; 陈文元;
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作者单位

上海交通大学,微纳科学技术研究院,薄膜与微细加工教育部重点实验室,微纳米加工国防实验室,上海,200030;

上海交通大学,微纳科学技术研究院,薄膜与微细加工教育部重点实验室,微纳米加工国防实验室,上海,200030;

上海交通大学,微纳科学技术研究院,薄膜与微细加工教育部重点实验室,微纳米加工国防实验室,上海,200030;

上海交通大学,微纳科学技术研究院,薄膜与微细加工教育部重点实验室,微纳米加工国防实验室,上海,200030;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类陀螺仪表;
关键词
微陀螺; 文氏桥; 移相; 正交驱动; 微机电系统;
入库时间 2023-07-25 09:52:06

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