压力传感器封装中波纹膜片的结构优化

摘要

对压力传感器隔离封装中的关键部件--波纹膜片,采用有限元分析的方法,分别得到了2,4,6个波纹的膜片的弹性特性,并根据封装要求选择了6波纹的膜片.通过比较不同波数的膜片对压力传感器输出信号的影响,验证了膜片结构优化的正确性.最后,使用6波纹的膜片进行封装,得到了性能稳定的压力传感器,并测试得到了其主要的静态参数.