表面等离子共振Ag-SnO2薄膜光化学气体传感器

摘要

提出一种新型的Ag-SnO2复合膜H2S光化学表面等离子共振(SPR)气体传感器结构.结构中使用一只金红石材料作成的棱镜作为耦合棱镜,在棱镜的底边采用射频溅射技术制作Ag-SnO2复合膜(CuO为掺杂质),Ag膜和SnO2膜的厚度分别为50 nm和100 nm,在复合膜上设置待测气体的样品池.在白光入射激励下,复合膜的分界面发生SPR现象.实验结果表明:SPR的波长与H2S气体的体积分数基本呈线性关系.