压阻掺杂浓度对高gn加速度计动态性能影响

摘要

采用有限元方法研究在不同压阻工作温度下压阻掺杂浓度对高gn加速度计动态冲击性能的影响.结果表明:器件动态冲击响应是受迫振动与悬臂梁固有振动叠加的结果,且压阻灵敏度系数与工作温度成正比.当T<20℃时,悬臂梁固有振动明显,并且,器件动态冲击响应峰值电压随着压阻掺杂浓度升高而降低;当T在20℃附近,峰值电压随掺杂浓度变化不明显;当T>20℃时,随着温度升高,悬臂梁固有振动频率渐受压制,传感器动态冲击响应渐表现为受加速度冲击受迫振动,且峰值电压随掺杂浓度提高而增大.在1×1018～1×1021 cm-3范围内,在0,20,100℃时,峰值电压差值分别为2,0,9mV.