一种用于微加速度计的低输入电容运算放大器

谭晓昀; 黄刚; 刘晓为

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采用0.5 μm CMOS工艺设计了一种低输入电容运算放大器.该运算放大器通过采用正反馈回路?肖除运算放大器输入管的密勒电容来实现低输入电容.分析了寄生电容对加速度计灵敏度的影响,并提出了一种采用低输入电容运算放大器的开环加速度计接口电路实现方法.结果表明:采用低输入电容运算放大器能够有效地提高加速度计灵敏度.

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来源
《传感器与微系统》 |2008年第12期|76-78|共3页
作者
谭晓昀; 黄刚; 刘晓为;
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作者单位

哈尔滨工业大学MEMS中心,黑龙江,哈尔滨,150001;

哈尔滨工业大学MEMS中心,黑龙江,哈尔滨,150001;

哈尔滨工业大学MEMS中心,黑龙江,哈尔滨,150001;

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正文语种 chi
中图分类专用集成电路;
关键词
低输入电容; 正反馈; 加速度计; 灵敏度;

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