复杂惯性敏感结构的矩阵解析建模方法

高杨; 苏伟

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微惯性器件的性能首先取决于其挠性支承结构的力学性能.高精度微惯性器件的需求与微加工的普及,使得微惯性器件的挠性支承结构趋向复杂,但主要体现为组合复杂性,提出了矩阵解析建模方法,论述了该方法的基本概念、刚度矩阵与弹性矩阵的坐标系变换和集总计算等问题,并结合实例简要说明了应用矩阵解析建模方法的基本步骤.

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来源
《传感器与微系统》 |2008年第9期|30-32,36|共4页
作者
高杨; 苏伟;
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作者单位

中国工程物理研究院,电子工程研究所,四川,绵阳,621900;

中国工程物理研究院,电子工程研究所,四川,绵阳,621900;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类 TP212;
关键词
微惯性器件; 挠性支承结构; 解析模型;

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