一种基于MEMS的主动式光纤连接器

摘要

介绍一种基于MEMS技术的主动式光纤连接器,上层为双层结构电热驱动器,下层为硅V型槽.双层结构在常温下作为压制光纤的盖板,通电后作为单稳态电热驱动器,盖板翘曲,放人或取出光纤.利用Ansys有限元分析软件并结合工艺条件,对热驱动器部件的性能进行了分析与仿真.利用表面硅工艺和体硅工艺制备出核心驱动部分,检测盖板翘曲情况下性能.