高精度单频激光干涉仪的设计与试验研究

摘要

提出了一种光学8倍频的耦合差动式干涉光路,其结构设计简洁紧凑,光路布局对称性好,光程差倍增,符合阿贝原则和结构变形最小原则.对系统精度在理论分析的基础上进行了估算,得出了在10mm范围内干涉仪综合精度的理论值约为±1.8mm.采用与电容测微仪比对的方法对该系统进行检测,利用线性回归的方法对测量结果进行处理.试验结果表明:该干涉测量系统的精度约为14mm.