基于微振动马达的无阀微泵的研究

摘要

研制了一种可在低电压下工作的新型无阀微泵,该微泵利用有机玻璃(PMMA)制作泵腔,采用了扩散口/喷口的结构,以PDMS作为振动膜,利用微振动马达作为驱动部件.采用ANSYS软件进行有限元分析得到微泵扩散口/喷口的最佳尺寸.对微泵的振动频率和输出流量进行了测试,结果显示:电压为1.0～1.8V时,微泵的输出流量随着电压的升高而增加,当电压为1.8～3.3V时,微泵输出的流量保持稳定,达到150 μL/min.该无阀微泵结构简单,驱动电压低,具有良好的性能和低廉的成本.