激光位移传感器在角度测量中的应用

摘要

激光位移传感器因其较高的测量精度和非接触测量特性,可应用在很多方面,将其用在测量工件的角度上能够实现角度的高精度测量.通过步进电机带动激光位移传感器扫描二面角的2个面,然后对测量的数据采用Matlab程序做最小二乘拟合,得到二面角两边的斜率,从而求出角度.实验中采用的位移传感器分辨率为0.3 μm,导轨和步进电机重复定位精度高于3 μm,则测量角度的精度高于1".