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李深德; 张向利; 陶晗; 韦礼凯;
桂林电子科技大学信息与通信学院,广西桂林541004;
桂林机床股份有限公司,广西桂林541001;
位移传感器; 三维光栅; 位移测量系统; 硬件设计;
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