含Pd纳米线SAW气体传感器氢敏特性分析

顾春虎; 殷晨波; 朱亚军; 朱斌

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含Pd纳米线SAW气体传感器氢敏特性分析

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基于COMSOL Muhiphysics软件,建立了含Pd纳米线的声表面波(SAW)传感器三维模型,以YZ铌酸锂为压电基底,叉指电极固定于基底表面,分析了Pd纳米线长度对模型本征频率的影响.对电极施加20V电压得到了不同氢气体积分数下电极上电导纳值和本征频率偏移值.通过磁控溅射制作了Pd薄膜,设计了SAW传感器测试夹具,得到了传感器氢敏特性.将仿真值与实验值进行对比,得到了含Pd纳米线氢敏材料的SAW传感器具有比含面形Pd膜传感器更高的灵敏度.

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来源
《传感器与微系统》 |2015年第3期|34-36|共3页
作者
顾春虎; 殷晨波; 朱亚军; 朱斌;
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作者单位

南京工业大学车辆与工程机械研究所,江苏南京211816;

南京工业大学车辆与工程机械研究所,江苏南京211816;

南京工业大学车辆与工程机械研究所,江苏南京211816;

南京工业大学车辆与工程机械研究所,江苏南京211816;

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正文语种 chi
中图分类 TP212.2;
关键词
声表面波; 纳米线; 气体传感器; 本征频率;

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