超光滑表面软X射线检测的计算机控制

摘要

本文介绍了软X射线计算机测试超光滑表面形貌系统的控制过程。对灵敏探测器的驱动,高频脉冲的定时计数及检测过程的控制等问题进行了探讨,同时给出相应的算法框图。