不同占用状态下辐流洁净室洁净度的研究

摘要

本文探讨了辐流洁净室洁净度检测的具体参数与方法,并在国内首次对辐流洁净室内粒子浓度进行了空态、静态、动态下的实地测试,对其自净时间、悬浮粒子分布情况进行了分析,首次通过实测阐明了辐流洁净室粒子浓度在不同占用状态下的变化规律,为后续研究打下基础.